Development of super-resolution optical inspection system for semiconductor defects using standing wave illumination shift
Development of super-resolution optical inspection system for semiconductor defects using standing wave illumination shift
复制标题
利用驻波照明位移的半导体缺陷超分辨率光学检测系统的开发
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K.Takamasu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S.Usuki;H.Nishioka;S.Takahashi;K.Takamasu
登录
查看更多内容
基于纳米形貌对比度的超分辨率明场光学显微镜
DOI：
--
发表时间：
2004
期刊：
Microscopy research and technique (Print)
影响因子：
--
作者：
S. Huang;H. Mong;Chau
通讯作者：
Chau
适用于 65 纳米技术节点的 DUV 光学晶圆检测系统
DOI：
--
发表时间：
2005
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
Kenji Watanabe;S. Maeda;T. Funakoshi;Y. Miyazaki
通讯作者：
Y. Miyazaki
使用数字全息技术检测半导体晶圆缺陷
DOI：
--
发表时间：
2003
期刊：
SPIE Advanced Lithography
影响因子：
--
作者：
M. Schulze;M. Hunt;E. Voelkl;J. Hickson;W. Usry;Randall G. Smith;R. Bryant;C. E. Thomas
通讯作者：
C. E. Thomas
使用超椭球聚类神经网络和模型切换进行半导体缺陷分类
DOI：
10.1109/ijcnn.1999.836231
发表时间：
1999
期刊：
IJCNN'99. International Joint Conference on Neural Networks. Proceedings (Cat. No.99CH36339)
影响因子：
--
作者：
K. Kameyama;Y. Kosugi
通讯作者：
Y. Kosugi
DOI：
--
发表时间：
2003
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
G. Mulholland;T. Germer
通讯作者：
T. Germer