Thickness-Lamé Thin-Film Piezoelectric-on-Silicon Resonators

Thickness-Lamé Thin-Film Piezoelectric-on-Silicon Resonators
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厚度 Lamé 薄膜压电硅谐振器

DOI:
10.1109/jmems.2020.2972779
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发表时间:
2020
影响因子:
2.7
通讯作者:
Abdolvand, Reza
Abdolvand, Reza
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
--
作者:
Shahraini, Sarah;Mansoorzare, Hakhamanesh;Mahigir, Amirreza;Abdolvand, Reza

文献摘要

参考文献

被引文献

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