Two tone metal pattern transfer technique using same mold surface
Two tone metal pattern transfer technique using same mold surface
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使用同一模具表面的双色调金属图案转印技术
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jun Taniguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Noriyuki Unno;Shouichi Ide;Jun Taniguchi
使用金属氧化物作为释放层，通过纳米压印光刻实现纳米级三维金属图案转移
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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作者：
Noriyuki Unno;Jun Taniguchi
通讯作者：
Jun Taniguchi
250-Å 线宽，带 PMMA 电子抗蚀剂
DOI：
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发表时间：
1978
期刊：
影响因子：
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作者：
A. Broers;J. Harper;W. Molzen
通讯作者：
W. Molzen
影响因子：
2.3
作者：
Hosaka, Sumio;Mohamad, Zulfakri;Sone, Hayato
通讯作者：
Sone, Hayato