High-Resolution Patterning of Molecular Glasses using Supercritical Carbon Dioxide
High-Resolution Patterning of Molecular Glasses using Supercritical Carbon Dioxide
复制标题
使用超临界二氧化碳对分子玻璃进行高分辨率图案化
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.C.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Felix;N.M.;Tsuchiya;K.;Ober;K.C.
用于超临界二氧化碳显影的正性光刻胶工艺
影响因子：
8.6
作者：
Victor Q. Pham;Robert J. Ferris;and Alyssandrea Hamad;C. Ober
通讯作者：
C. Ober
使用可裂解二嵌段共聚物研究纳米到宏观尺寸的异质性
影响因子：
5.5
作者：
James T. Goldbach;K. Lavery;J. Penelle;T. Russell
通讯作者：
T. Russell
用于先进掩模制造的电子束抗蚀剂的最新进展
DOI：
10.1147/rd.455.0639
发表时间：
2001
期刊：
IBM J. Res. Dev.
影响因子：
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作者：
D. Medeiros;A. Aviram;C. Guarnieri;Wu;R. Kwong;C. Magg;A. Mahorowala;W. Moreau;K. Petrillo;M. Angelopoulos
通讯作者：
M. Angelopoulos