Highly mobile 2D micro impact actuator for space applications
Highly mobile 2D micro impact actuator for space applications
复制标题
适用于太空应用的高机动性 2D 微冲击执行器
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Makoto Mita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazuhiro Takahashi;K. Takahashi;K. Takahashi;K. Takahashi;K. Takahashi;H.Toshiyoshi;Kazuhiro Takahashi;Kazuhiro Takahashi;Makoto Mita
由 ICP-RIE 和嵌入式掩模层制造的多高度微结构
影响因子：
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作者：
M. Mita;Y. Mita;H. Toshiyoshi;H. Fujita
通讯作者：
H. Fujita
用于将高压驱动器电路与体微机械执行器单片集成的 SOI-CMOS 平台
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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作者：
Kazuhiro Takahashi;K. Takahashi;K. Takahashi;K. Takahashi;K. Takahashi;H.Toshiyoshi;Kazuhiro Takahashi
通讯作者：
Kazuhiro Takahashi
具有拓扑层开关架构的高填充因子梳状驱动 XY 平台
DOI：
10.1587/elex.3.197
发表时间：
2005
期刊：
IEICE Electron. Express
影响因子：
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作者：
Kazuhiro Takahashi;M. Mita;H. Fujita;H. Toshiyoshi
通讯作者：
H. Toshiyoshi