Vibration compensated high-resolution scanning white-light Linnik-interferometer
Vibration compensated high-resolution scanning white-light Linnik-interferometer
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振动补偿高分辨率扫描白光林尼克干涉仪
DOI：
10.1117/12.2270226
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
P. Kuehnhold
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Tereschenko;P. Lehmann;P. Gollor;P. Kuehnhold
我们提出了一种高分辨率林尼克扫描白光干涉仪（SWLI），集成了距离测量干涉仪（DMI），用于在环境振动存在下的近距离机器应用。在深度扫描过程中，DMI测量的距离用于SWLI信号的振动补偿。测量后，根据DMI和随后的三角逼近获得的实际位置对捕获的图像进行重新排序，从而重建白光干涉信号。该系统是我们先前提出的迈克尔逊干涉仪的进一步发展。我们能够补偿频率高达几千赫兹和振幅在微米范围内的任意振动。可以重建完全失真的SWLI信号，并获得高精度的表面形貌。我们通过有和没有振动干扰的实际测量实例证明了该方法的可行性。
We present a high-resolution Linnik scanning white-light interferometer (SWLI) with integrated distance measuring interferometer (DMI) for close-to-machine applications in the presence of environmental vibrations. The distance, measured by DMI during the depth-scan, is used for vibration compensation of SWLI signals. The reconstruction of the white-light interference signals takes place after measurement by reordering the captured images in accordance with their real positions obtained by the DMI and subsequent trigonometrical approximation. This system is the further development of our previously presented Michelson-interferometer. We are able to compensate for arbitrary vibrations with frequencies up to several kilohertz and amplitudes in the lower micrometer range. Completely distorted SWLI signals can be reconstructed and the surface topography can be obtained with high accuracy. We demonstrate the feasibility of the method by examples of practical measurements with and without vibrational disturbances.
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