Pt/SrBi2Ta209/HfO2/Si MFIS FETへのSiN層挿入の効果

Pt/SrBi2Ta209/HfO2/Si MFIS FETへのSiN層挿入の効果
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将 SiN 层插入 Pt/SrBi2Ta2O9/HfO2/Si MFIS FET 中的效果

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
酒井 滋樹
酒井 滋樹
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
堀内 健史;嵩橋 光恵;Shouyu Wang;Qiu-Hong Li;齊藤 丈靖;大橋 憲太郎;酒井 滋樹

文献摘要

参考文献

被引文献

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