Experimental Study of the Subsystems in a Microscale Additive Manufacturing Process
Experimental Study of the Subsystems in a Microscale Additive Manufacturing Process
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微尺度增材制造过程中子系统的实验研究
DOI：
10.1007/s11837-018-3223-3
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
2.6
通讯作者：
Cullinan, Michael
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Roy, Nilabh K.;Behera, Dipankar;Dibua, Obehi G.;Foong, Chee S.;Cullinan, Michael
微电子等微型产品的复杂3D架构的高吞吐量制造受到现有增材制造工艺分辨率的限制。本文介绍了实验测试和验证的主要子系统在微尺度选择性激光烧结（µ-SLS）过程中，能够制造真正的三维金属微结构与微尺度特征尺寸分辨率。在µ-SLS中，烧结工艺的零件质量和产量在很大程度上取决于子系统的精度、准确度和速度，包括：（1）光学子系统，（2）全球定位机构，（3）XY纳米定位平台，以及（4）粉末床分配系统。本文表明，这些子系统中的每一个都可以保持亚微米精度和精度所需的生产金属零件的微米级分辨率。优化工艺参数的初步烧结结果显示，µ-SLS工艺具有高速率制造分辨率低于10 μm的复杂金属部件的潜力。
High-throughput manufacturing of complex 3D architectures for microscale products such as microelectronics is limited by the resolution of existing additive manufacturing processes. This paper presents experimental testing and validation of the major subsystems in a microscale selective laser sintering (µ-SLS) process that is capable of fabricating true-3D metallic micro-architectures with microscale feature size resolutions. In µ-SLS, the part quality and throughput of the sintering process are largely determined by the precision, accuracy, and speed of the subsystems including: (1) the optical subsystem, (2) the global positioning mechanism, (3) the XY nanopositioning stage, and (4) the powder bed dispensing system. This paper shows that each of these subsystems can maintain the sub-micrometer precision and accuracy required to produce metal parts with microscale resolutions. Preliminary sintering results with optimized process parameters show the potential of the µ-SLS process to fabricate complex metal parts with sub-10-μm resolution at high rates.
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DOI：
10.1016/j.precisioneng.2018.04.007
发表时间：
2018-07
期刊：
Precision Engineering
影响因子：
--
作者：
N. Roy;M. Cullinan
通讯作者：
N. Roy;M. Cullinan
影响因子：
3.8
作者：
N. Roy;Dipankar Behera;O. Dibua;C. S. Foong;M. Cullinan
通讯作者：
N. Roy;Dipankar Behera;O. Dibua;C. S. Foong;M. Cullinan
使用飞秒、纳秒和连续波激光器烧结铜纳米粒子的综合研究
影响因子：
1
作者：
Roy, Nilabh K.;Dibua, Obehi G.;Jou, William;He, Feng;Jeong, Jihoon;Wang, Yaguo;Cullinan, Michael A.
通讯作者：
Cullinan, Michael A.
用于微激光烧结的 Yb:YAG 盘式激光器和辊基粉末沉积相结合
DOI：
--
发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
作者：
H. Haferkamp;A. Ostendorf;H. Becker;S. Czerner;P. Stippler
通讯作者：
P. Stippler
影响因子：
6.4
作者：
Roy, Nilabh K.;Cullinan, Michael A.
通讯作者：
Cullinan, Michael A.