Fabrication of a seamless roll mold using inorganic electron beam resist with postexposure bake
Fabrication of a seamless roll mold using inorganic electron beam resist with postexposure bake
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使用无机电子束抗蚀剂和曝光后烘烤制造无缝辊模具
DOI：
10.1116/1.3656052
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Kiyoshi ISHIKAWA
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Noriyuki UNNO;Jun TANIGUCHI;Kiyoshi ISHIKAWA
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--
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Noriyuki UNNO;Jun TANIGUCHI;Kiyoshi Ishikawa
通讯作者：
Kiyoshi Ishikawa