A LATERAL FIELD-EMISSION RF MEMS DEVICE
A LATERAL FIELD-EMISSION RF MEMS DEVICE
复制标题
横向场发射 RF MEMS 器件
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroshi Toshiyoshi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kiyotaka Yamashita;Winston Sun;Kuniyuki Kakushima;Hiroyuki Fujita;Hiroshi Toshiyoshi
DOI：
10.1109/memsys.1992.187722
发表时间：
1992-02
期刊：
[1992] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems
影响因子：
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作者：
Liwei Lin;C. Nguyen;Roger T. Howe;A. Pisano
通讯作者：
Liwei Lin;C. Nguyen;Roger T. Howe;A. Pisano
UHF 微机械延伸酒杯环谐振器中的杂散模式抑制
DOI：
10.1109/memsys.2005.1453906
发表时间：
2005
期刊：
18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005.
影响因子：
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作者：
Yuan Xie;Sheng;Yu;Z. Ren;C. Nguyen
通讯作者：
C. Nguyen
使用实验室器具的微机电系统的蒸气氢氟酸牺牲释放技术
影响因子：
1.5
作者：
Y. Fukuta;H. Fujita;H. Toshiyoshi
通讯作者：
H. Toshiyoshi