Ion beam sputtering of Ti: Influence of process parameters on angular and energy distribution of sputtered and backscattered particles
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Ti 的离子束溅射：工艺参数对溅射和背散射粒子的角度和能量分布的影响
DOI：
10.1016/j.nimb.2016.08.017
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发表时间：
2016
影响因子：
1.3
通讯作者：
C. Bundesmann
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Lautenschläger;R. Feder;H. Neumann;C. Rice;M. Schubert;C. Bundesmann
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蒸发铝膜溅射原子角分辨能量分布的实验研究
DOI：
10.1016/s0168-583x(01)00573-0
发表时间：
2001
影响因子：
1.3
作者：
A. Goehlich;D. Gillmann;H. Döbele
通讯作者：
H. Döbele
低轰击能量下溅射原子的角分辨能量分布
DOI：
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发表时间：
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影响因子：
1.3
作者：
A. Goehlich;D. Gillmann;H. Döbele
通讯作者：
H. Döbele
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影响因子：
1.6
作者：
C. Bundesmann;R. Feder;T. Lautenschläger;H. Neumann
通讯作者：
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通讯作者：
Depla, D.
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通讯作者：
J. Sanders