Development of bipolar electrostatic chucks with a compliant beam-array assembly from composite-laminated plates using abrasive water jet
Development of bipolar electrostatic chucks with a compliant beam-array assembly from composite-laminated plates using abrasive water jet
复制标题
使用磨料水射流从复合层压板开发具有顺应性光束阵列组件的双极静电吸盘
DOI：
10.1557/s43580-022-00329-9
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0.8
通讯作者：
Saito Shigeki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Ryo Tomohiro;Taoka Yuki;Hemthavy Pasomphone;Takahashi Kunio;Saito Shigeki
影响因子：
1.4
作者：
S. Kanno;T. Usui
通讯作者：
T. Usui
开发双极静电吸盘，其具有兼容的光束阵列组件，具有四个 3D 打印层，用于大型薄膜处理
影响因子：
1.7
作者：
Taoka Yuki;Hayashi Terumichi;Hemthavy Pasomphone;Takahashi Kunio;Saito Shigeki
通讯作者：
Saito Shigeki
影响因子：
12.6
作者：
Kudo, Hiroyuki;Sawada, Takanori;Mitsubayashi, Kohji
通讯作者：
Mitsubayashi, Kohji