A two-axis water-immersible micro scanning mirror (WIMSM) using torsional and bending polymer hinges
A two-axis water-immersible micro scanning mirror (WIMSM) using torsional and bending polymer hinges
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使用扭转和弯曲聚合物铰链的两轴水浸式微扫描镜（WIMSM）
DOI：
10.1117/12.2578907
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Zou, Jun
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Duan, Xiaoyu;Zou, Jun
在本文中，我们报告了一种新的双轴微扫描镜（WIMSM）使用扭转和弯曲的BoPET（双轴取向聚对苯二甲酸乙二醇酯）铰链。通过扭转铰链，快轴在空气中的谐振频率为265 Hz，在水中的谐振频率为172 Hz。通过扭转铰链，快轴在空气中的谐振频率为265 Hz，在水中的谐振频率为172 Hz。在弯曲铰链的情况下，慢轴具有小于1Hz的谐振频率。当两个轴以其谐振频率驱动时，获得具有最大扫描范围的密集光栅扫描图案。为了演示，在水中的3D体积超声显微镜进行与新的WIMSM。
In this paper, we report a new two-axis micro scanning mirror (WIMSM) using torsional and bending BoPET (biaxially-oriented polyethylene terephthalate) hinges. With a torsional hinge, the fast axis has a resonance frequency of 265 Hz in air and 172 Hz in water. With a torsional hinge, the fast axis has a resonance frequency of 265 Hz in air and 172 Hz in water. With a bending hinge, the slow axis has a resonance frequency less than 1 Hz. When the two axes are driven at their resonance frequencies, a dense raster scanning pattern with a maximal scanning range is obtained. For demonstration, 3D volumetric ultrasound microscopy in water is conducted with the new WIMSM.
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DOI：
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发表时间：
1996
期刊：
1996 IEEE Ultrasonics Symposium. Proceedings
影响因子：
--
作者：
C. H. Frazier;W. O’Brien
通讯作者：
W. O’Brien
动态结构滤波单电感线圈驱动的两轴水浸式微扫描镜
DOI：
10.1016/j.sna.2018.10.029
发表时间：
2018
期刊：
Sensors and Actuators A: Physical
影响因子：
--
作者：
Song Xu;Xiaoyu Duan;J. Zou
通讯作者：
J. Zou
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DOI：
10.1117/1.jmm.15.4.045005
发表时间：
2016
期刊：
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
影响因子：
--
作者：
Song Xu;J. Zou
通讯作者：
J. Zou
影响因子：
4.6
作者：
Duan, Xiaoyu;Li, Shuangliang;Zou, Jun
通讯作者：
Zou, Jun