Fabrication of Replica Mold by Room Temperature Nanoimprinting using Organic Spin-on-glass
Fabrication of Replica Mold by Room Temperature Nanoimprinting using Organic Spin-on-glass
复制标题
使用有机旋涂玻璃通过室温纳米压印制造复制模具
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Matsui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Okada;M.Maeda;S.Shimatani;S.Otaka;S.Matsui
用于高分辨率非常规光刻的模具的防粘表面处理
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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作者：
M. Lee;N. Y. Lee;Ju Ri Lim;Jong Bok Kim;Mihee M. Kim;H. Baik;Youn Sang Kim
通讯作者：
Youn Sang Kim
通过基于紫外线的纳米压印光刻技术制造纳米线鳍片场效应晶体管
影响因子：
1.4
作者：
A. Fuchs;M. Bender;U. Plachetka;L. Kock;T. Wahlbrink;H. Gottlob;J. Efavi;M. Moeller;Michael Schmidt;T. Mollenhauer;C. Moormann;M. Lemme;H. Kurz
通讯作者：
H. Kurz
采用柔性模具和半球形 PDMS 弹性体在大型柔性基材上进行多层聚合物纳米图案的简单压印方法
影响因子：
4.6
作者：
N. Lee;Y. Kim
通讯作者：
Y. Kim