Correlation between Oxidation Process of Al Film for Magnetic Tunnel Junctions and Oxidizing Species in the Microwave Excited Plasma
Correlation between Oxidation Process of Al Film for Magnetic Tunnel Junctions and Oxidizing Species in the Microwave Excited Plasma
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微波激发等离子体中磁隧道结铝膜氧化过程与氧化物种的相关性
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Yoshimura et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuichi Taguchi;Takeshi Naemura;S.Yoshimura et al.
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