Diamond on aluminum nitride as a platform for integrated photonic circuits
Diamond on aluminum nitride as a platform for integrated photonic circuits
复制标题
氮化铝上的金刚石作为集成光子电路的平台
DOI：
10.1002/pssa.201600227
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
W. H. P. Pernice
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
N. Gruhler;T. Yoshikawa;P. Rath;G. Lewes-Malandrakis;E. Schmidhammer;C. Nebel;W. H. P. Pernice
金刚石为实现先进的集成光学元件提供了卓越的材料特性。特别有吸引力的是其宽透明窗口，涵盖可见光和红外波长。为了利用宽带波导的潜力，金刚石需要被宽带透明包覆材料包围。在这里，我们使用沉积在氮化铝上的金刚石作为集成光学的平台。我们展示了将光耦合到片上波导的基本光子电路，并展示了近红外和可见波长范围内的传输。我们的方法为覆盖中红外光谱区域的功能性金刚石器件带来了希望。左：金刚石波导的扫描电子显微照片，具有模式分布的叠加。右：由硅 (Si) 上氮化铝 (AlN) 上的多晶金刚石 (PCD) 组成的材料堆叠（未按比例）。
Diamond offers superior material properties for realizing advanced integrated optical components. Particularly attractive is its wide transparency window which covers visible and infrared wavelengths. To take advantage of the potential for broadband waveguiding, diamond needs to be surrounded by broadband transparent cladding materials. Here we use diamond deposited onto aluminum nitride as a platform for integrated optics. We demonstrate essential photonic circuitry for coupling light into on‐chip waveguides and show transmission both in the near‐infrared and visible wavelength range. Our approach holds promise for functional diamond devices that cover spectral regions up to the mid‐infrared.Left: Scanning electron micrograph of a diamond waveguide with an overlay of the mode profile. Right: material stack consisting of polycrystalline diamond (PCD) on aluminum nitride (AlN) on silicon (Si) (not to scale).
登录
查看更多内容
影响因子：
4
作者：
Checoury, X.;Neel, D.;Bergonzo, P.
通讯作者：
Bergonzo, P.
CVD 金刚石生长过程中类石墨缺陷密度的演变
DOI：
--
发表时间：
1995
期刊：
影响因子：
--
作者：
Y. V. Kaenel;J. Stiegler;E. Blank
通讯作者：
E. Blank
光栅辅助耦合至微晶金刚石薄膜中的纳米光子电路
影响因子：
3.1
作者：
P. Rath;S. Khasminskaya;C. Nebel;C. Wild;W. Pernice
通讯作者：
W. Pernice
影响因子：
3.8
作者：
P. Rath;N. Gruhler;S. Khasminskaya;Christoph E. Nebel;Christoph Wild;W. Pernice
通讯作者：
P. Rath;N. Gruhler;S. Khasminskaya;Christoph E. Nebel;Christoph Wild;W. Pernice
影响因子：
16.6
作者：
Rath, Patrik;Khasminskaya, Svetlana;Pernice, Wolfram H. P.
通讯作者：
Pernice, Wolfram H. P.