Inert-gas ion scattering at grazing incidence on smooth and rough Si and SiO2 surfaces

Inert-gas ion scattering at grazing incidence on smooth and rough Si and SiO2 surfaces
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惰性气体离子在光滑和粗糙的 Si 和 SiO2 表面掠入射时的散射

DOI:
10.1116/6.0002381
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发表时间:
2023
影响因子:
2.9
通讯作者:
Hamaguchi Satoshi
Hamaguchi Satoshi
中科院分区:
材料科学2区
文献类型:
--
作者:
Cagomoc Charisse Marie D.;Isobe Michiro;Hudson Eric A.;Hamaguchi Satoshi

文献摘要

参考文献

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