Inert-gas ion scattering at grazing incidence on smooth and rough Si and SiO2 surfaces
Inert-gas ion scattering at grazing incidence on smooth and rough Si and SiO2 surfaces
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惰性气体离子在光滑和粗糙的 Si 和 SiO2 表面掠入射时的散射
DOI:
10.1116/6.0002381
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发表时间:
2023
影响因子:
2.9
通讯作者:
Hamaguchi Satoshi
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Cagomoc Charisse Marie D.;Isobe Michiro;Hudson Eric A.;Hamaguchi Satoshi
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DOI:
10.1149/1.2220831
发表时间:
1993
期刊:
影响因子:
--
作者:
T. Dalton;J. Arnold;H. Sawin;S. Swan;D. Corliss
通讯作者:
D. Corliss
影响因子:
3.9
作者:
S. Hamaguchi;M. Dalvie
通讯作者:
M. Dalvie
DOI:
10.1116/1.581452
发表时间:
1998
期刊:
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子:
--
作者:
C. Abrams;D. Graves
通讯作者:
D. Graves
DOI:
--
发表时间:
1988
期刊:
影响因子:
--
作者:
F. Stillinger;T. Weber
通讯作者:
T. Weber
DOI:
10.1149/1.3633282
发表时间:
2011
期刊:
--
影响因子:
--
作者:
A. Nitayama;H. Aochi
通讯作者:
H. Aochi