Fabrication of a novel SEM microgripper by electrochemical and FIB techniques
Fabrication of a novel SEM microgripper by electrochemical and FIB techniques
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通过电化学和 FIB 技术制造新型 SEM 微夹具
DOI：
10.1088/0960-1317/20/1/015028
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发表时间：
2010
影响因子：
2.3
通讯作者：
Briston K
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Briston K
开发了一种新型的微夹持器，它结合了电化学刻蚀和聚焦离子束研磨技术，可以用一根金属丝来制造微夹持器末端执行器。这确保了两个末端执行器具有良好的对准表面，可以以相对简单的方式制造成灵活/可选的设计，并且可以由广泛的材料制成。这里使用的金属丝是钨，很容易蚀刻，并允许最大限度地提高夹紧力。每个末端执行器的独立电气连接允许它们接地，以防止在扫描电子显微镜光束中充电，并提供在拾取的对象上施加电压的选项。夹持器的驱动使用了一个具有很好分辨率(典型的∼170nmV−1)和超过20微米的最大可能跨度的三形态压电式折弯机执行器。该夹持器已在扫描电子显微镜中成功地拾取和放置单个铜微球和碳纳米管。
A novel type of microgripper has been developed that uses combined electrochemical etching and focused ion beam milling techniques to fabricate microgripper end-effecters from a single piece of metal wire. This ensures that the two end-effecters have well-aligned faces, can be made in a relatively simple manner to a flexible/chosen design and can be made from a wide range of materials. The wire used here is tungsten which is easy to etch and allows the gripping force to be maximized. Independent electrical connections to each of the end-effecters allow them to be grounded to prevent charging in the SEM beam and give the option of applying a voltage across an object that is picked up. Actuation of the gripper is accomplished using a trimorph piezo bender actuator giving very good resolution (typically∼ 170 nm V− 1) and a maximum possible span range of over 20 µm. The gripper has been successfully demonstrated in picking up and placing individual copper microspheres and carbon nanotubes in situ in the SEM.
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DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
作者：
M. Blideran;M. Fleischer;W. Henschel;D. Kern;Jochen Sterr;K. Schock;S. Kleindiek;M. Langer;K. Löffler;F. Grauvogel
通讯作者：
F. Grauvogel
FIB 微量采样技术和特定位点 TEM 样品制备方法
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
作者：
T. Kamino;T. Yaguchi;T. Hashimoto;T. Ohnishi;K. Umemura
通讯作者：
K. Umemura
用于处理微米颗粒和纳米颗粒的机械驱动硅微夹具
DOI：
--
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
作者：
M. Blideran;Günter Bertsche;W. Henschel;D. Kern
通讯作者：
D. Kern
安装有纳米管探针和纳米管镊子的扫描探针显微镜。
影响因子：
2.2
作者：
Y. Nakayama
通讯作者：
Y. Nakayama
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DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
Yong Peng;I. Luxmoore;M. Forster;A. Cullis;B. Inkson
通讯作者：
B. Inkson