Fabrication and characterization of metal-ferroelectric-insulator-Si diodes and transistors with different HfSiON buffer layer thickness
Fabrication and characterization of metal-ferroelectric-insulator-Si diodes and transistors with different HfSiON buffer layer thickness
复制标题
不同 HfSiON 缓冲层厚度的金属-铁电-绝缘体-硅二极管和晶体管的制造和表征
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
H. Ishiwara
中科院分区:
文献类型:
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作者:
X-B. Lu;H. Ishiwara
DOI:
10.1007/s00339-004-3021-3
发表时间:
2005
期刊:
Applied Physics A
影响因子:
--
作者:
Aidong Li;Yongjin Wang;Q. Shao;J. Cheng;D. Wu;H. Ling;Y. Bao;Mu Wang;Zu;N. Ming
通讯作者:
N. Ming
影响因子:
0.7
作者:
H. Hoko;Chieko Aoki;Y. Tabuchi;T. Tamura;Kenji Maruyama;Y. Arimoto;H. Ishiwara
通讯作者:
H. Ishiwara
影响因子:
3.2
作者:
Lu, Xu-Bing;Maruyama, Kenji;Ishiwara, Hiroshi
通讯作者:
Ishiwara, Hiroshi