Fabrication and characterization of metal-ferroelectric-insulator-Si diodes and transistors with different HfSiON buffer layer thickness

Fabrication and characterization of metal-ferroelectric-insulator-Si diodes and transistors with different HfSiON buffer layer thickness
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不同 HfSiON 缓冲层厚度的金属-铁电-绝缘体-硅二极管和晶体管的制造和表征

DOI:
--
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发表时间:
2008
期刊:
J. Mater. Res. 23
影响因子:
--
通讯作者:
H. Ishiwara
H. Ishiwara
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
X-B. Lu;H. Ishiwara

文献摘要

参考文献

被引文献

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