Nano stenciling through a cm2-wide silicon membrane

Nano stenciling through a cm2-wide silicon membrane
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通过 cm2 宽的硅膜进行纳米模板

DOI:
--
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发表时间:
2006
期刊:
Journal of Vacuum Science and Technology B Val.24(1)
影响因子:
--
通讯作者:
Beomjoon Kim
Beomjoon Kim
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Vincent Blech;Takama Nobuyuki;Beomjoon Kim

文献摘要

参考文献

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