Consideration of existence of phase information of object shape in zeroth-order diffraction beam using electromagnetic simulation with aperture in front of objective
Consideration of existence of phase information of object shape in zeroth-order diffraction beam using electromagnetic simulation with aperture in front of objective
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物镜前孔径电磁模拟考虑零级衍射光束中物体形状相位信息的存在性
DOI：
10.1080/09500340.2020.1760383
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Yasuhiko Arai
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hirotoshi Kaneko;Tadanao Zanma;Kang-Zhi Liu;Kenta Koiwa;Yasuhiko Arai
据报道，可以通过使用散斑干涉测量法检测由物体的横向偏移产生的相位分布的变化来确定被测物体的形状。在散斑干涉测量技术中，也有报道可以测量超出衍射极限的物体的形状。本文通过实验和电磁场分析，对该方法的原理进行了探讨。因此，通过使用透镜前面的孔径来关闭高次谐波衍射光，研究了仅在零级衍射光下通过物体的横向移位的相位变化的实验和电磁分析的结果。结果表明，即使不能聚焦到物体的图像上，也可以通过分析来自物体的零级衍射光来进行三维形状测量。
It has been reported that the shape of a measured object can be determined by detecting the change in phase distribution generated by a lateral shift of the object using speckle interferometry. In speckle interferometry technique, it was also reported that the shape of the object beyond the diffraction limit can be measured. In this study, the principle of this method is discussed through experiments and electromagnetic analysis. Accordingly, the results of the experiments and electromagnetic analysis of phase change only under zeroth-order diffraction light through the lateral shift of the object are investigated by shutting out the higher harmonic diffraction lights using an aperture in front of the lens. The results indicate that even if the image of the object cannot be focused upon, three-dimensional shape measurement can be performed by analysing only the zeroth-order diffraction light from the object.
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通讯作者：
Arai, Yasuhiko
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DOI：
--
发表时间：
2004
期刊：
Optical Engineering Vol.43, No.9
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通讯作者：
S.Yokozeki
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