Characterization of metal/high・k structures using monoenergetic positronbeams
Characterization of metal/high・k structures using monoenergetic positronbeams
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使用单能正电子束表征金属/高 k 结构
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y.Nara and K.Yamada
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
A.Uedono;T.Naito;T.Otsuka;K.Ito;K.Shiraishi;K.Yamabe;S.Miyazaki;H.Watanabe;N.Umezawa;Y.Chikyow;T.Ohdaira;R.Suzuki;Y.Akasaka;S.Kamiyama;Y.Nara and K.Yamada
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单能正电子束原子层沉积技术制备 Hf0.3Al0.7Ox 的表征
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Jpn.J.Appl.Phys. 43(11B)
影响因子：
--
作者：
A.Uedono;M.Goto;K.Higuchi;K.Shiraishi;K.Yamabe;H.Kitajima;R.Mitsuhashi;A.Horiuchi;K.Torii;T.Arikado;R.Suzuki;T.Ohdaira;K.Yamada
通讯作者：
K.Yamada
影响因子：
6.7
作者：
K. Hirose;M. Yamawaki;K. Torii;T. Kawahara;S. Kawashiri;T. Hattori
通讯作者：
K. Hirose;M. Yamawaki;K. Torii;T. Kawahara;S. Kawashiri;T. Hattori
使用单能正电子束研究 HfSiOx 和 HfAlOx 栅极电介质中开放体积的退火特性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
J.Appl.Phys. 98
影响因子：
--
作者：
A.Uedono;K.Ikeuchi;K.Yamabe;T.Ohdaira;M.Muramatsu;R.Suzuki;A.S.Hamid;T.Chikyow;K.Torii;K.Yamada
通讯作者：
K.Yamada
通过数值拉普拉斯反演分析正电子湮没寿命数据：源项和零时移误差的校正
DOI：
10.1016/0168-9002(91)90367-y
发表时间：
1991
影响因子：
1.4
作者：
R. Gregory
通讯作者：
R. Gregory
多层氧化技术中CVD-TiN栅电极中残留氯对栅氧化层可靠性的影响
影响因子：
1.5
作者：
M. Moriwaki;Takayuki Yamada
通讯作者：
Takayuki Yamada