Lifetime improvement of nitrided carbon stripper foils by ion-beam sputtering with a binary gas mixture
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通过二元气体混合物离子束溅射提高氮化碳剥离箔的使用寿命
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
et al.
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
I.Sugai;Y.Takeda;et al.
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DOI:
10.1016/0168-583x(93)95940-7
发表时间:
1993
影响因子:
1.3
作者:
Muto Hideshi;Oyaizu Michihiro;I. Sugai;Kawasaki Katsunori;Takahashi Yohsuke;Ishii Yasuyuki;Hirata Takehide;Hattori Toshiyuki
通讯作者:
Hattori Toshiyuki
DOI:
10.1016/0168-583x(95)00608-7
发表时间:
1995
影响因子:
1.3
作者:
H. Muto;M. Oyaizu;K. Kawasaki;Yohsuke Takahashi;K. Takeuchi;I. Sugai;T. Hattori
通讯作者:
T. Hattori
DOI:
10.1016/0168-9002(91)90764-h
发表时间:
1991
影响因子:
1.4
作者:
I. Sugai;M. Oyaizu;T. Hattori;K. Kawasaki;T. Yano;H. Muto;Yohsuke Takahashi;K. Yamazaki
通讯作者:
K. Yamazaki
DOI:
10.1016/0168-9002(92)90763-t
发表时间:
1992
影响因子:
1.4
作者:
I. Sugai;M. Oyaizu;T. Hattori;K. Kawasaki;T. Yano;H. Muto;Yohsuke Takahashi;Y. Ishii;F. Hirata;M. Okamura;M. Aratani;M. Yanokura;K. Yamazaki
通讯作者:
K. Yamazaki