Titania/alumina bilayer gate insulators for InGaAs metal-oxide-semiconductor devices

Titania/alumina bilayer gate insulators for InGaAs metal-oxide-semiconductor devices
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用于 InGaAs 金属氧化物半导体器件的二氧化钛/氧化铝双层栅极绝缘体

DOI:
10.1063/1.3662966
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发表时间:
2011
影响因子:
4
通讯作者:
Ahn J
Ahn J
中科院分区:
物理与天体物理2区
文献类型:
--
作者:
Ahn J

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参考文献

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