A method to increase line-density of grating based on PDMS stretching and PUA replication process
A method to increase line-density of grating based on PDMS stretching and PUA replication process
复制标题
基于PDMS拉伸和PUA复制工艺的光栅线密度增加方法
DOI：
10.1016/j.mee.2021.111586
复制
发表时间：
2021-07
影响因子：
2.3
通讯作者：
Zhang Jun
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Jin Jian;Wang Xudi;Di Si;Lin Wenyu;Bi Hailin;Zhang Jun
登录
查看更多内容
影响因子：
3.8
作者：
Xinghui Li;Qian Zhou;Xiangwen Zhu;Haiou Lu;L. Yang;Donghan Ma;Jianhui Sun;K. Ni;Xiaohao Wang-Xi
通讯作者：
Xinghui Li;Qian Zhou;Xiangwen Zhu;Haiou Lu;L. Yang;Donghan Ma;Jianhui Sun;K. Ni;Xiaohao Wang-Xi
影响因子：
2.4
作者：
L. Consolino;A. Campa;D. Mazzotti;M. Vitiello;P. De Natale;S. Bartalini
通讯作者：
L. Consolino;A. Campa;D. Mazzotti;M. Vitiello;P. De Natale;S. Bartalini
影响因子：
6.7
作者：
Jong G. Ok;Jong G. Ok;Ashwin Panday;Taehwa Lee;L. J. Guo
通讯作者：
Jong G. Ok;Jong G. Ok;Ashwin Panday;Taehwa Lee;L. J. Guo
影响因子：
2.3
作者：
Chabum Lee;T. Kuriyagawa;Do-Kyun Woo;Sun-Kyu Lee
通讯作者：
Chabum Lee;T. Kuriyagawa;Do-Kyun Woo;Sun-Kyu Lee
DOI：
10.1016/0141-6359(92)90003-f
发表时间：
1992-07-01
期刊：
PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING
影响因子：
--
作者：
TEIMEL, A
通讯作者：
TEIMEL, A