Study of horizontal and vertical uniformity of B-doped layer on mosaic single crystal diamond wafers by using hot-filament chemical vapor deposition
Study of horizontal and vertical uniformity of B-doped layer on mosaic single crystal diamond wafers by using hot-filament chemical vapor deposition
复制标题
热丝化学气相沉积镶嵌单晶金刚石晶片B掺杂层水平和垂直均匀性研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Takehiro Shimaoka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hideaki Yamada;Takehiro Shimaoka
登录
查看更多内容
通过掺磷热丝化学气相沉积生长金刚石的 n 型掺杂
DOI：
10.1007/s00339-020-04060-w
发表时间：
2020
期刊：
Applied Physics A
影响因子：
--
作者：
Y. Katamune;D. Mori;Daisuke Arikawa;A. Izumi;T. Shimaoka;K. Ichikawa;S. Koizumi
通讯作者：
S. Koizumi
影响因子：
4.1
作者：
N. Tokuda;H. Umezawa;Takeyasu Saito;K. Yamabe;H. Okushi;S. Yamasaki
通讯作者：
N. Tokuda;H. Umezawa;Takeyasu Saito;K. Yamabe;H. Okushi;S. Yamasaki
单晶金刚石中的缺陷和螺纹位错：关注硼和氮共掺杂
DOI：
10.1002/pssa.201900581
发表时间：
2019
期刊：
physica status solidi (a)
影响因子：
--
作者：
R. Issaoui;A. Tallaire;Aida Mrad;L. William;F. Bénédic;M;J. Achard
通讯作者：
J. Achard
化学气相沉积外延合成金刚石薄膜中室温下不同掺杂浓度的离子注入引入的受主硼的极高效激活
影响因子：
3.2
作者：
Yuhei Seki;Y. Hoshino;J. Nakata
通讯作者：
J. Nakata
利用阶梯流生长获得高质量异质外延金刚石
DOI：
--
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
作者：
Seong-Woo Kim;Ryota Takaya;and Makoto Kasu
通讯作者：
and Makoto Kasu