Dependence of Acid Generation Efficiency on Molecular Structures of Acid Generators upon Exposure to Extreme Ultraviolet Radiation
Dependence of Acid Generation Efficiency on Molecular Structures of Acid Generators upon Exposure to Extreme Ultraviolet Radiation
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暴露于极紫外辐射时产酸效率对产酸剂分子结构的依赖性
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T. Shimokawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Hirose;T. Kozawa;S. Tagawa;T. Kai;T. Shimokawa
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DOI：
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R. Hirose;T. Kozawa;S. Tagawa;T. Kai;T. Shimokawa
通讯作者：
T. Shimokawa
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发表时间：
2006
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J. Vac. Sci. Technol. B
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