Atomic Force Microscope Cantilever Array for Parallel Lithography of Quantum Devices
Atomic Force Microscope Cantilever Array for Parallel Lithography of Quantum Devices
复制标题
用于量子器件并行光刻的原子力显微镜悬臂阵列
DOI：
--
复制
发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H.Fujita
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K.Kakushima;T.Watanabe;K.Shimamoto;T.Gouda;M.Ataka;H.Mimura;Y.Isono;G.Hashigachi;Y.Mihara;H.Fujita
登录
查看更多内容
用原子力显微镜制造的单原子点接触装置
影响因子：
4
作者：
E. Snow;Doewon Park;P. Campbell
通讯作者：
P. Campbell
扫描隧道显微镜纳米加工工艺在单电子晶体管中的应用
影响因子：
1.4
作者：
K. Matsumoto;M. Ishii;K. Segawa
通讯作者：
K. Segawa
使用带有导电探针的原子力显微镜制造纳米级结构
DOI：
10.1116/1.579062
发表时间：
1994
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
--
作者：
T. Hattori;Yasunori Ejiri;Kenji Saito;M. Yasutake
通讯作者：
M. Yasutake
低能电子硅和氢化非晶硅上的纳米光刻
影响因子：
1.4
作者：
N. Kramer;J. Jorritsma;H. Birk;C. Schönenberger
通讯作者：
C. Schönenberger
使用自组装单层扫描探针纳米光刻技术制造单电子晶体管
DOI：
10.1109/sensor.2003.1215298
发表时间：
2003
期刊：
TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers (Cat. No.03TH8664)
影响因子：
--
作者：
Y. Isono;K. Shimamoto;G. Hashiguchi;Y. Mihara;H. Mimura;T. Hiramoto;H. Fujita
通讯作者：
H. Fujita