Investigations on the Microstructure of an Aluminium Nitride Layer and Its Interface with the Aluminium Substrate (Part I)
Investigations on the Microstructure of an Aluminium Nitride Layer and Its Interface with the Aluminium Substrate (Part I)
复制标题
氮化铝层及其与铝基板界面的微观结构研究(上)
DOI:
10.3390/coatings12050618
复制
发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
3.4
通讯作者:
Hegelmann
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Buchwalder;Böcker;Hegelmann
登录
查看更多内容
影响因子:
3.6
作者:
Hegelmann, Eugen;Jung, Anne;Buchwalder, Anja
通讯作者:
Buchwalder, Anja
DOI:
10.1116/1.577309
发表时间:
1991
期刊:
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子:
--
作者:
E. Meletis;S. Yan
通讯作者:
S. Yan
DOI:
--
发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
--
作者:
A. Dalke;H. Spies;H. Biermann
通讯作者:
H. Biermann
影响因子:
5.4
作者:
CHEN, HY;STOCK, HR;MAYR, P
通讯作者:
MAYR, P
影响因子:
3.6
作者:
A. Buchwalder;A. Dalke;H. Spies;R. Zenker
通讯作者:
R. Zenker