Formation of U-shaped diamond trenches with vertical {111} sidewalls by anisotropic etching of diamond (110) surfaces
Formation of U-shaped diamond trenches with vertical {111} sidewalls by anisotropic etching of diamond (110) surfaces
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通过金刚石（110）表面的各向异性蚀刻形成具有垂直{111}侧壁的U形金刚石沟槽
DOI：
10.1016/j.diamond.2020.107713
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发表时间：
2020
影响因子：
4.1
通讯作者：
Tokuda N.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Nagai M.;Nakamura Y.;Yamada T.;Tabakoya T.;Matsumoto T.;Inokuma T.;Nebel C.E.;Makino T.;Yamasaki S.;Tokuda N.
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