Sensitivity of Aicroscopy for Detecting Three-Dimensional Nanometer Gaps Embedded in a Silicon Structure
Sensitivity of Aicroscopy for Detecting Three-Dimensional Nanometer Gaps Embedded in a Silicon Structure
复制标题
显微镜检测硅结构中嵌入的三维纳米间隙的灵敏度
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.A.S.Akanda
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H.Tohmyoh;M.A.S.Akanda
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DOI：
10.1088/0022-3727/29/6/001
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影响因子：
--
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通讯作者：
R. Gilmore
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