Research Activities of Nanodimensional Standards Using Atomic Force Microscopes, Transmission Electron Microscope, and Scanning Electron Microscope at the National Metrology Institute of Japan
Research Activities of Nanodimensional Standards Using Atomic Force Microscopes, Transmission Electron Microscope, and Scanning Electron Microscope at the National Metrology Institute of Japan
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日本国立计量研究所利用原子力显微镜、透射电子显微镜、扫描电子显微镜进行纳米尺寸标准的研究活动
DOI：
10.1007/s41871-021-00119-1
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发表时间：
2021
影响因子：
--
通讯作者：
Sigehuzi Tomoo
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Misumi Ichiko;Kizu Ryosuke;Itoh Hiroshi;Kumagai Kazuhiro;Kobayashi Keita;Sigehuzi Tomoo
随着纳米技术的进步，纳米尺度标准的重要性日益增加。实现纳米尺度标准需要多种类型的高精度显微技术。日本国家计量研究所（NMIJ）是国家先进工业科学技术研究所（AIST）的研究领域之一，正在开发使用原子力，透射电子和扫描电子显微镜的纳米尺度标准。本文介绍了NMIJ纳米尺度标准的现状。
With the progress in nanotechnology, the importance of nanodimensional standards is increasing. Realizing nanodimensional standards requires multiple types of high-precision microscopy techniques. The National Metrology Institute of Japan (NMIJ), one of the research domains in the National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), is developing nanodimensional standards using atomic force, transmission electron, and scanning electron microscopes. The current status of nanodimensional standards in NMIJ is introduced herein.
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