Resizing metal-coated nanopores using a scanning electron microscope.
Resizing metal-coated nanopores using a scanning electron microscope.
复制标题
使用扫描电子显微镜调整金属涂层纳米孔的大小。
DOI：
10.1002/smll.201101015
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Chansin GA
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Chansin GA
电子束诱导收缩为调整si3n4膜中固态纳米孔的大小提供了一种方便的方法。在这里，扫描电子显微镜（SEM）已经被用来调整一系列不同聚焦的离子束铣削纳米孔在铝涂层的si3n4膜。在调整尺寸过程中获得的能量色散X射线光谱和扫描电镜图像强调，时变碳沉积过程是孔隙收缩的主要机制，尽管孔隙附近膜表面的颗粒结构表明可能发生竞争过程。在孔的Al侧和si3n4侧观察到收缩，而收缩率取决于多种因素。
Electron beam‐induced shrinkage provides a convenient way of resizing solid‐state nanopores in Si3N4membranes. Here, a scanning electron microscope (SEM) has been used to resize a range of different focussed ion beam‐milled nanopores in Al‐coated Si3N4membranes. Energy‐dispersive X‐ray spectra and SEM images acquired during resizing highlight that a time‐variant carbon deposition process is the dominant mechanism of pore shrinkage, although granular structures on the membrane surface in the vicinity of the pores suggest that competing processes may occur. Shrinkage is observed on the Al side of the pore as well as on the Si3N4side, while the shrinkage rate is observed to be dependent on a variety of factors.
登录
查看更多内容
纳米结构制造中使用的材料和技术
DOI：
10.1116/1.569924
发表时间：
1979
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
--
作者：
W. Molzen;A. Broers;J. Cuomo;J. Harper;R. Laibowitz
通讯作者：
R. Laibowitz
影响因子：
9.3
作者：
Soni, Gautam V.;Meller, Amit
通讯作者：
Meller, Amit
影响因子：
3.4
作者：
Heng, JB;Ho, C;Timp, G
通讯作者：
Timp, G
影响因子：
29.4
作者：
Kim, Min Jun;Wanunu, Meni;Meller, Amit
通讯作者：
Meller, Amit