Thermal MEMS actuator operation in aqueous media/seawater: Performance enhancement through atomic layer deposition post processing of PolyMUMPs devices
Thermal MEMS actuator operation in aqueous media/seawater: Performance enhancement through atomic layer deposition post processing of PolyMUMPs devices
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水介质/海水中的热 MEMS 执行器操作：通过 PolyMUMP 器件的原子层沉积后处理增强性能
DOI：
10.1116/1.4902081
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Hubbard
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Warnat;A. Bertuch;G. Sundaram;T. Hubbard
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影响因子：
2.3
作者：
Zhuang, X.;Nikoozadeh, A.;Pruitt, B. L.
通讯作者：
Pruitt, B. L.
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影响因子：
41.2
作者：
J. Voldman
通讯作者：
J. Voldman
高温 MEMS 器件 Ti/TiN 和 TiN 导电层的表征
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
作者：
P. Lange;Birger Ohlsen;S. Puls;Joerg Syre
通讯作者：
Joerg Syre
聚合物上原子层沉积生长的薄膜 Al2O3 早期生长对透湿性的影响
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
P. Carcia;R. S. Mclean;D. J. Walls;M. Reilly;J. Wyre
通讯作者：
J. Wyre