Origin of carrier lifetime degradation in floating-zone silicon during a high-temperature process for insulated gate bipolar transistor

Origin of carrier lifetime degradation in floating-zone silicon during a high-temperature process for insulated gate bipolar transistor
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绝缘栅双极晶体管高温工艺过程中浮区硅载流子寿命下降的根源

DOI:
10.35848/1347-4065/abc1d0
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发表时间:
2020
影响因子:
1.5
通讯作者:
Hiramoto Toshiro
Hiramoto Toshiro
中科院分区:
物理与天体物理4区
文献类型:
--
作者:
Yokogawa Ryo;Kobayashi Hiroto;Numasawa Yohichiroh;Ogura Atsushi;Nishizawa Shin-ichi;Saraya Takuya;Ito Kazuo;Takakura Toshihiko;Suzuki Shinichi;Fukui Munetoshi;Takeuchi Kiyoshi;Hiramoto Toshiro

文献摘要

参考文献

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