Nano-in-Nano Integration Technology for Advanced Fabrication of Functional Nanofluidic Devices
Nano-in-Nano Integration Technology for Advanced Fabrication of Functional Nanofluidic Devices
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用于先进制造功能性纳米流体器件的纳米对纳米集成技术
DOI：
10.1007/978-3-030-79749-2_5
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Xu Yan
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yang Jinbin;Xu Yan
本章介绍了功能化纳米流体器件的进展，即纳米集成技术。大多数现代纳米流体装置使用没有功能组件的裸纳米通道，这限制了它们的纳米流体应用。纳米中纳米制造技术已经被提出作为解决方案，其包括使用聚焦离子束的减法和使用多电子束光刻的加法。作为概念验证研究，具有不同功能的纳米组件，例如阵列、阀门和电极，已被集成到纳米通道中，可以预见，这将为功能性纳米流体装置的先进制造提供新的角度。
In this chapter, Nano-in-Nano Integration was introduced as the progress of functional nanofluidic devices. Most contemporary nanofluidic devices use bare nanochannels without functional components, which limits their nanofluidic application. Nano-in-Nano fabrication technologies have been proposed as a solution, which includes the subtractive method using the focus ion beam and the additive method using multiple electron beam lithography. Nanocomponents with different functions, such as arrays, valves, and electrodes, have been integrated into nanochannels, as proof-of-concept studies, which can be envisioned to offer a new angle for the advanced fabrication of functional nanofluidic devices.
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