Mechanical Properties of Amorphous SiC thin films on Al2O3 Ceramic Substrates
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Al2O3 陶瓷基片上非晶 SiC 薄膜的力学性能
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Fujii
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Shiota;D. Taniya;M. Okiyama;Y. Takenaka;Y. Omiya;T. Ikoma;M. Fujii
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