Defect Passivation Etch-less Cleaning for Semiconductor Devices : Zero Emission Process
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半导体器件的缺陷钝化无蚀刻清洗：零排放工艺
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
小林光
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.Miura;R.Tsukamoto;S.Yoshii;I.Yamashita;Y.Uraoka;T.Fuyuki;上野信雄;大藤弘明，竹内洋貴;佐藤大・山村正樹・鍋島達弥;小林光
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DOI：
--
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期刊：
影响因子：
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