A reliable MEMS switch using electrostatic levitation
A reliable MEMS switch using electrostatic levitation
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使用静电悬浮的可靠 MEMS 开关
DOI：
10.1063/1.5053090
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发表时间：
2018
影响因子：
4
通讯作者：
Towfighian, Shahrzad
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Pallay, Mark;Towfighian, Shahrzad
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静电驱动 MEMS 开关中的结构热电耦合建模及其对开关稳定性的影响
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
H. Ouakad;M. Younis
通讯作者：
M. Younis
影响因子：
2.4
作者：
Miles, RN;Robert, D;Hoy, RR
通讯作者：
Hoy, RR
DOI：
10.1016/j.sna.2018.04.001
发表时间：
2018-07
期刊：
Sensors and Actuators A: Physical
影响因子：
--
作者：
Mark Pallay;Shahrzad Towfighian
通讯作者：
Mark Pallay;Shahrzad Towfighian
多级斥力面外微型静电执行器的研制
DOI：
10.1109/iecon.2009.5415321
发表时间：
2009
期刊：
2009 35th Annual Conference of IEEE Industrial Electronics
影响因子：
--
作者：
S. He;R. Ben Mrad
通讯作者：
R. Ben Mrad
DOI：
10.1109/aim.2010.5695890
发表时间：
2010
期刊：
2010 IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics
影响因子：
--
作者：
J. Chong;Siyuan He;R. Ben Mrad
通讯作者：
R. Ben Mrad