Extension of 3D Shapes of MEMS Structures Realized by Wet Etching
Extension of 3D Shapes of MEMS Structures Realized by Wet Etching
复制标题
通过湿法蚀刻实现 MEMS 结构 3D 形状的扩展
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Prem Pal;K. Sato
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影响因子：
2.3
作者：
Venstra, WJ;Sarro, PM
通讯作者：
Sarro, PM
DOI：
10.1088/0960-1317/17/11/017
发表时间：
2007-11-01
影响因子：
2.3
作者：
Pal, Prem;Sato, Kazuo;Shikida, Mitsuhiro
通讯作者：
Shikida, Mitsuhiro
影响因子：
2.3
作者：
P. Pal;Kazuo Sato
通讯作者：
P. Pal;Kazuo Sato
添加表面活性剂的TMAH溶液的各向异性蚀刻
DOI：
10.1109/memsys.1999.746904
发表时间：
1999
期刊：
Technical Digest. IEEE International MEMS 99 Conference. Twelfth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.99CH36291)
影响因子：
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作者：
M. Sekimura
通讯作者：
M. Sekimura