Etching damage in diamond studied using an energy-controlled oxygen ion beam
Etching damage in diamond studied using an energy-controlled oxygen ion beam
复制标题
使用能量控制氧离子束研究金刚石的蚀刻损伤
DOI:
--
复制
发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
et al.
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Y.Yamazaki;et al.
登录
查看更多内容
影响因子:
1.5
作者:
T. Tsuchizawa;Yoshito Jin Yoshito Jin;Seitaro Matsuo Seitaro Matsuo
通讯作者:
Seitaro Matsuo Seitaro Matsuo
影响因子:
4
作者:
B. Liaw;T. Stacy;G. Zhao;E. Charlson;E. Charlson;J. M. Meese;M. Prelas
通讯作者:
M. Prelas
影响因子:
1.5
作者:
S. Samukawa;K. Sakamoto;K. Ichiki
通讯作者:
K. Ichiki
DOI:
10.1116/1.572490
发表时间:
1984
期刊:
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子:
--
作者:
B. Pate;M. Oshima;J. Silberman;G. Rossi;I. Lindau;W. Spicer
通讯作者:
W. Spicer
影响因子:
1.5
作者:
N. Ishii;M. Kumeda;T. Shimizu
通讯作者:
T. Shimizu