Etching damage in diamond studied using an energy-controlled oxygen ion beam

Etching damage in diamond studied using an energy-controlled oxygen ion beam
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使用能量控制氧离子束研究金刚石的蚀刻损伤

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics 46
影响因子:
--
通讯作者:
et al.
et al.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y.Yamazaki;et al.

文献摘要

参考文献

被引文献

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