Solid-state membranes formed on natural menisci.
Solid-state membranes formed on natural menisci.
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DOI：
10.1088/1361-6528/aba711
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发表时间：
2020-10-30
期刊：
影响因子：
3.5
通讯作者：
Hawkins A
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Walker Z;Wells T;Lay K;Sampad MJN;Schmidt H;Hawkins A
我们提出了一种使用液体弯月面的自然形状作为模板来创建坚固的纳米级固态膜的方法。将狭窄的开放通道蚀刻到硅基板中，然后通过自发毛细管作用将光致抗蚀剂聚合物引入通道中。然后由聚合物形成的自然凹弯月面被化学气相沉积薄膜覆盖。通过牺牲蚀刻去除聚合物，留下悬浮膜。可以制造厚度低至 50 nm 且尺寸大至 20 μm x 9 mm 的膜。
We present a method to create robust, nanoscale solid-state membranes using the natural shape of a liquid meniscus as a template. A narrow, open channel is etched into a silicon substrate and then a photoresist polymer is introduced into the channel through spontaneous capillary action. The natural concave meniscus formed by the polymer is then covered by a thin chemical vapor deposited membrane. The polymer is removed by sacrificial etching, leaving behind a suspended membrane. Membranes as large as 20 μm by 9 mm can be fabricated with a thickness as low as 50 nm.
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影响因子：
4.6
作者：
Ducso, C;Vazsonyi, E;vandenBerg, A
通讯作者：
vandenBerg, A
DOI：
10.1088/1464-4258/8/7/s03
发表时间：
2006-07-01
期刊：
JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS
影响因子：
--
作者：
Werber, A.;Zappe, H.
通讯作者：
Zappe, H.
影响因子：
5.1
作者：
Calvimontes A
通讯作者：
Calvimontes A
DOI：
10.1073/pnas.0407721102
发表时间：
2005-02-08
影响因子：
11.1
作者：
Seemann, R;Brinkmann, M;Lipowsky, R
通讯作者：
Lipowsky, R
基于渗流金属纳米颗粒阵列的超高分辨率压力传感器
影响因子：
16.6
作者：
Chen, Minrui;Luo, Weifeng;Han, Min
通讯作者：
Han, Min