A new emissive-probe method for electron temperature measurement in radio-frequency plasmas
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一种用于射频等离子体中电子温度测量的新型发射探针方法
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kouta Kusaba and Haruo Shindo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
樋田美栄子;吉谷嵩志;大澤幸治;Kouta Kusaba and Haruo Shindo
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