Theory of nanoscale surface ripple formation during oblique-incidence thin film deposition
Theory of nanoscale surface ripple formation during oblique-incidence thin film deposition
复制标题
斜入射薄膜沉积过程中纳米级表面波纹形成理论
DOI：
10.1063/5.0049321
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发表时间：
2021
影响因子：
3.2
通讯作者：
Sharath, Tejas
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Bradley, R. Mark;Sharath, Tejas
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