Heat generation in PZT MEMS actuator arrays
Heat generation in PZT MEMS actuator arrays
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PZT MEMS 执行器阵列中的热量产生
DOI：
10.1063/5.0114670
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发表时间：
2022
影响因子：
4
通讯作者：
Trolier-McKinstry, Susan
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Fragkiadakis, Charalampos;Sivaramakrishnan, Subramanian;Schmitz-Kempen, Thorsten;Mardilovich, Peter;Trolier-McKinstry, Susan
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