Growth characteristics of single‐crystalline ZnMgO layers by ultrasonic spray assisted mist CVD technique
Growth characteristics of single‐crystalline ZnMgO layers by ultrasonic spray assisted mist CVD technique
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超声波喷雾辅助雾化CVD单晶ZnMgO层的生长特性
DOI：
10.1002/pssb.200983247
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
S. Fujita
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H. Nishinaka;Y. Kamada;Naoki Kameyama;S. Fujita
采用一种简单、安全、经济的超声喷雾化学气相沉积方法在带有氧化锌缓冲层的a面蓝宝石衬底上生长了−_xMg_xO合金薄膜。在x=0~0.25时，制备了(0001)取向的纤锌矿−_xMg_xO单晶薄膜。光学带隙可调至3.28~3.96 eV，具有纯纤锌矿结构(x = 为0-0.25)。在x = 为0.31时，纤锌矿中有少量的岩盐型锌镁氧化物偏析，但禁带宽度高达4.10 eV。−_xMg_xO合金在3.28(x = _0)~4.04 eV(x_ = _(0.31))能量范围内表现出室温紫外光阴极发光，未观察到深能级发射。这种新的生长技术可以促进各种具有独特功能的氧化物薄膜的发展。
A simple, safe, and cost‐effective ultrasonic spray assisted mist chemical vapor deposition (CVD) method has been applied for the growth of Zn1−xMgxO alloy thin films on a‐plane sapphire substrates with ZnO buffer layers. Single‐crystalline (0001)‐oriented wurtzite Zn1−xMgxO thin films have been prepared for x of between x = 0 and 0.25. The optical bandgap can be tuned from 3.28 to 3.96 eV with a pure wurtzite phase (x = 0–0.25). At x = 0.31 slight segregation of rocksalt ZnMgO was seen in wurtzite ZnMgO, but the bandgap was as large as 4.10 eV. Zn1−xMgxO alloys exhibited room temperature ultraviolet cathode luminescence (CL) at energies between 3.28 (x = 0) and 4.04 eV (x = 0.31) without no observable deep level emissions. This novel growth technique can contribute to evolution of various oxide thin films of unique functions.
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影响因子：
2.3
作者：
Kaneko, Kentaro;Nomura, Taichi;Fujita, Shizuo
通讯作者：
Fujita, Shizuo
使用双乙基环戊二烯基镁远程等离子体增强金属有机化学气相沉积生长 Mg_xZn_<1-x>O 薄膜的表征
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Jpn.J.Appl.Phys. 44
影响因子：
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作者：
A.Nakamura;K.Yamammoto;J.Ishihara;T.Aoki;J.Temmyo
通讯作者：
J.Temmyo
影响因子：
1.8
作者：
Koike, K;Hama, K;Yano, M
通讯作者：
Yano, M
细通道雾化学气相沉积法生长结晶氧化锌薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics (印刷中)
影响因子：
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作者：
吉元 貴志;李維涛;李維涛;李維涛;李維涛;李維涛;李維涛;Toshiyuki Kawaharamura
通讯作者：
Toshiyuki Kawaharamura