High-Speed Deposition of Highly-Oriented Calcium Titanate Film by Laser CVD
High-Speed Deposition of Highly-Oriented Calcium Titanate Film by Laser CVD
复制标题
激光CVD高速沉积高取向钛酸钙薄膜
DOI：
10.2497/jjspm.63.123
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
且井宏和，熊谷友希，後藤孝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
桃沢 愛;且井 宏和，伊藤 暁彦;後藤孝;且井宏和，熊谷友希，後藤孝
低压对LPCVD多晶硅薄膜结构的影响
影响因子：
3.9
作者：
P. Joubert;B. Loisel;Y. Chouan;L. Haji
通讯作者：
L. Haji
高温化学气相沉积 (HTCVD) 多晶 AlN 层的高速生长和表征
影响因子：
1.1
作者：
A. Claudel;E. Blanquet;D. Chaussende;Rachel D. Martin;D. Pique;M. Pons
通讯作者：
M. Pons
影响因子：
3.9
作者：
Zhang, Song;Xu, Qingfang;Zhang, Lianmeng
通讯作者：
Zhang, Lianmeng