Characteristics of ion debris from laser-produced tin plasma and mitigation of energetic ions by ambient gas
Characteristics of ion debris from laser-produced tin plasma and mitigation of energetic ions by ambient gas
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激光产生的锡等离子体的离子碎片的特征以及环境气体对高能离子的缓解
DOI：
10.1007/s11433-012-4644-6
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发表时间：
2012-02
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Zhao ZhenMing
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Sun YingBo;Lin JingQuan;Gao Xun;Zhao ZhenMing
极紫外光刻技术是最有前途的下一代光刻技术。然而，来自激光产生的等离子体的碎片，特别是高能离子，严重降低了极紫外光学器件的寿命。我们测量了
Extreme ultraviolet lithography is most promising for the next generation lithography. However, debris from laser-produced plasma, particularly energetic ions, severely decreases the lifetime of extreme ultraviolet optics. We measured the characteristics
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DOI：
10.7498/aps.54.1283
发表时间：
2005-03
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
Zhang Duan-ming;Li Li-Li;Ling Zhi-hua;Guan Li;Hou Si-Pu;Tan Xin-Yu
通讯作者：
Zhang Duan-ming;Li Li-Li;Ling Zhi-hua;Guan Li;Hou Si-Pu;Tan Xin-Yu
DOI：
10.1088/0022-3727/42/15/155203
发表时间：
2009-08
期刊：
Journal of Physics D: Applied Physics
影响因子：
--
作者：
Jingquan Lin;T. Tomie
通讯作者：
Jingquan Lin;T. Tomie
影响因子：
6.7
作者：
H. Azuma;Y. Nishimura;Sakata Atsushi;A. Takeuchi
通讯作者：
H. Azuma;Y. Nishimura;Sakata Atsushi;A. Takeuchi
影响因子：
4
作者：
Fujioka, Shinsuke;Shimomura, Masashi;Mima, Kunioki
通讯作者：
Mima, Kunioki
影响因子：
8.6
作者：
R. G. Meyerand;A. Haught
通讯作者：
R. G. Meyerand;A. Haught