Formation of SIC/Si Multilayer Structures on Si(100) by Supersonic Free Jets of Single Gas Source CH_3SiH_3
Formation of SIC/Si Multilayer Structures on Si(100) by Supersonic Free Jets of Single Gas Source CH_3SiH_3
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单气源CH_3SiH_3超音速自由射流在Si(100)上形成SIC/Si多层结构
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T.Motooka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y.Ikoma;R.Ohtani;T.Motooka
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DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.389-393.751
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2002
期刊：
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影响因子：
--
作者：
Y. Ikoma;K. Uchiyama;F. Watanabe;T. Motooka
通讯作者：
T. Motooka
影响因子：
3.3
作者：
Sanchez, EC;Sibener, SJ
通讯作者：
Sibener, SJ
DOI：
10.1143/jjap.38.l301
发表时间：
1999-03-15
期刊：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
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--
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通讯作者：
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4
作者：
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2000
期刊：
Materials Science Forum
影响因子：
--
作者：
Y. Ikoma;T. Endo;T. Tada;F. Watanabe;T. Motooka
通讯作者：
T. Motooka