Ultrathin Oxynitride Films Formed by Using Pulse-Time-Modulated Nitrogen Beams
Ultrathin Oxynitride Films Formed by Using Pulse-Time-Modulated Nitrogen Beams
复制标题
使用脉冲时间调制氮气束形成超薄氮氧化物薄膜
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川誠二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
遠藤和彦;寒川誠二;Kazuhiko Endo;Seiji Samukawa;寒川 誠二;寒川 誠二;大竹浩人;久保田智広;石川健治;野田周一;Hiroto Ohtake;Tomohiro Kubota;Kenji Ishikawa;Shuichi Noda;寒川 誠二;寒川 誠二;寒川誠二;寒川誠二;寒川誠二;久保田智広;野田周一;寒川誠二;Seiji Samukawa;Tomohiro Kubota;Shuichi Noda;Seiji Samukawa;寒川誠二;寒川誠二;寒川誠二;寒川誠二
超薄氮化物低压氧化形成的高性能超薄氧化物/氮化物/氧化物堆叠电介质
影响因子：
1.5
作者：
Han;H. Su;Huang
通讯作者：
Huang
N2O中Si快速热氧化制备超薄氮氧化物栅介质的电学特性
DOI：
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发表时间：
1990
期刊：
影响因子：
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作者：
H. Hwang;W. Ting;B. Maiti;D. Kwong;Jack C. Lee
通讯作者：
Jack C. Lee
通过低温低热预算处理实现超薄栅极电介质中的单层氮原子分布
影响因子：
1.5
作者：
G. Lucovsky;David R. Lee;S. Hattangady;H. Niimi;Ze Jing;C. Parker;J. Hauser
通讯作者：
J. Hauser